k8凯发_(中国)_一触即发
简体中文
EN
产品与解决方案
产品中心
工业机器人
移动机器人
特种机器人
晶圆传输机器人
协作机器人
智慧康养机器人
智慧交通装备
行业应用
汽车行业
新能源
工程机械
电子工业
金属加工
船舶钢构
交通行业
石油化工
消费品
其它行业
解决方案
焊接&切割
装配&检测
仓储&物流
服务支持
下载中心
关于k8凯发_(中国)_一触即发
关于k8凯发_(中国)_一触即发
公司简介
企业文化
招贤纳士
联系我们
社会责任
新闻与活动
公司新闻
项目公告
媒体关注
投资者关系
基本概况
公司公告
股票信息
公司治理
投资者服务
CN
简体中文
EN
Loadport 晶圆装载装置
LoadPort是k8凯发_(中国)_一触即发公司自主研发的一种晶圆装载装置，可安装在EFFM上，适用于200mm和300mm晶圆盒的装载，具备准确的mapping功能，可自动识别盒内晶圆各槽状态，如单片、跨片、异常片，通过独创的开关门机构和精确的运动控制，实现了高清洁性能，同时具有良好的稳定性和速度。
联系我们
产品优势
产品参数
首页
-
晶圆传输机器人
-
Loadport 晶圆装载装置
产品优势
可挂载
可挂载到符合SEMI标准的EFEM上
自动识别
自动识别盒内晶圆尺寸以及盒内各槽晶圆状态
防夹手功能
内置防夹手功能
RFID
具有RFID读取功能
产品参数
重复位置精度
±0.1mm
晶圆尺寸
8 " 12 "
下载信息验证
姓名：
公司：
电话：
邮箱：
需求：
阅读：
我已阅读并同意《隐私政策》和《服务协议》
立即提交
服务热线
400-800-8666
业务咨询
公众号
返回顶部
百度一下
搜索
首页
